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解密工信部展品：騰旋如何用“一滴不漏“技術(shù)破局半導(dǎo)體高端裝備“卡脖子”難題

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瀏覽：- 發(fā)布日期：2025-03-27 10:14:27【大中小】

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈博弈加劇的背景下，中國高端裝備核心部件領(lǐng)域再傳捷報。國內(nèi)旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)騰旋科技，自主研發(fā)的旋轉(zhuǎn)接頭通過半導(dǎo)體行業(yè)頭部企業(yè)驗證，從樣品測試到量產(chǎn)，已累計交付300多臺旋轉(zhuǎn)接頭，保證設(shè)備的長效穩(wěn)定運轉(zhuǎn)，成功打破國外品牌長期的技術(shù)壟斷。

目前騰旋已與多家半導(dǎo)體行業(yè)龍頭企業(yè)達成戰(zhàn)略合作，在半導(dǎo)體拋光機、薄膜沉積設(shè)備、減薄機等半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備實現(xiàn)國產(chǎn)化配套。

半導(dǎo)體多通路旋轉(zhuǎn)接頭

半導(dǎo)體設(shè)備對旋轉(zhuǎn)接頭的潔凈度、密封性和壽命要求極為嚴苛，騰旋博士團隊正向研發(fā)，實現(xiàn)超長壽命（6億轉(zhuǎn)）、低扭矩（≯1.5NM）、低泄漏量（≤0.5kPa/min）及真空環(huán)境下（-90kPa至450kPa）穩(wěn)定運轉(zhuǎn)的多通路機械密封式旋轉(zhuǎn)接頭設(shè)計制造技術(shù)。這不僅是動密封技術(shù)的突破，更是高端裝備自主可控的重要里程碑。
憑借突破性創(chuàng)新，經(jīng)國家制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級大基金推薦，騰旋高精特產(chǎn)品入選工信部組織的"專精特新"小巨人企業(yè)卡脖子、補短板產(chǎn)品展，半導(dǎo)體旋轉(zhuǎn)接頭、航空機械密封、航空旋轉(zhuǎn)接頭、機床高速旋轉(zhuǎn)接頭等，共同亮相北京工信部一樓展廳，展期1個月。
此次在工信部展廳的聚光燈下，既是肯定，更是號角。未來，騰旋將持續(xù)深耕密封行業(yè)，助推半導(dǎo)體、航空等產(chǎn)業(yè)升級，讓世界看見中國智造的硬核突破！

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